行星式气动马达相比较于传统的气动马达，体型更小，构造更为紧凑。主要特点：体型小，输出功率小，转动速度高。微型气动马达主要为叶片式马达，以小功率马达为主，输出功率从几十瓦到几百瓦之间不等，转动速度从几千到一万多之间不等。
行星式气动马达运用于需要马达高转速低扭矩的工作情况。由于其体型小巧，重量较轻，广泛运用于各类气动工具上，当作驱动源。比如气动打磨机，气动抛光机等。
行星式气动马达还可以搭配减速机来运用，降低转动速度，提高扭矩以适用于有所不同的工作状况。微型气动马达较常用减速机种类为行星齿轮减速，行星减速机为内置式设计，和马达壳体为一体式，空间布局精巧，结构紧凑。因此减少了附加的减速机构给马达的产生的体积重量上的改变。这类微型气动马达，加工精度高，价格也比一般的气动减速马达要高，但是相比较于一般气动减速马达，这类马达性能表现更为优越。
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